TEM中的EDS:基本原理和原理

虽然绝大多数的能量色散x射线能谱(EDS)系统安装在扫描电子显微镜(SEM)、EDS系统的结合透射电子显微镜(TEM)给访问相同的成分信息财富但规模远小于在SEM是可以实现的。

然而，TEM与SEM相比，无论是从硬件角度还是从分析角度，都提出了一套非常不同的挑战。在本次网络研讨会中，我们将介绍透射电子显微镜中x射线产生、探测和分析的基本原理，重点讨论透射电子显微镜所面临的独特挑战。这包括holder的影响，几何优化，量化和校正例程，以及性能指标，如Fiori数和人工峰值。