ACM研究公司。

ACM Research, Inc.于1998年在硅谷成立，致力于为半导体行业开发湿法加工技术和产品。该公司生产的设备适用于集成电路制造和晶圆级封装的一app亚博体育系列应用，特别关注先进半导体器件的清洁技术。

2006年9月，ACM将业务扩展到亚洲，并成立了子公司——ACM研究(上海)有限公司。美盛在中国上海张江高科技园区拥有完整的研发、工程和制造业务。2011年6月，该公司成立了第二个子公司，ACM研究(无锡)有限公司，以更好地服务于该地区的客户。此外，我们还在北京、台湾、韩国、美国等全球重要地区提供先进的服务，为全球客户提供世界级的支持。

该公司最初的重点是超低k电介质和铜集成，特别是无应力铜抛光技术，第一个产品于2001年推出，并销售给美国领先的晶圆制造商。2003年，公司开始设计创新的新的单晶圆清洗设备，针对新一代IC芯片，提出了越来越多的挑战，以减少缺陷。app亚博体育ACM研究在其专有的空间交替相移(SAPS™)和及时充能气泡振荡(TEBO™)超大音速清洗技术以及其特殊的腔室和平台设计中建立了重要的知识产权(IP)。TEBO技术在未来的半导体电路中具有开创性和革命性。

2008年10月，ACM Research Shanghai赢得了研发授予，开发和商业化65-45 NM无压力Cu抛光技术（SFP™）。2014年1月，该公司赢得了另一种研发授予，开发ACM的新型电镀（ECP™）技术。ACM目前持有强大的IP投资组合，致力于为客户提供领先的技术，世界级产品和未开发的服务和支持。