2004年1月27日
铝硝化物(ALN)是高热传导性属性的隔热材料,可用作半导体设备散热基质
app亚博体育半导体生产设备用ALN制片NGK亚博网站下载研究卤素防腐材料
基础研究 微结构控制 AlN陶瓷NGK开发了两种电导 AlN陶瓷
一种类型容量阻抗性与隔热器和半导体的边界区相对应容抗性从1E9控制到1E12Om-cm控制另一种类型半导体区域有容抗性容积可控制从1E1到1E3Om-cm
yabo214提供电导材料,通常必须包括20%以上传导粒子亚博网站下载但这些新材料只使用几分点插件
亚博网站下载并保留AlN原属性, 诸如热扩充系数、机械强度、热传导率系数至少100W/mk等
通常,用隔热陶瓷体积阻抗性随温度上升下降,但中抗性类型温度变换电阻性变化大约为传统 AlN陶瓷值的一半低抗性类型 阻抗性变化与温度变化几乎为零
app亚博体育中抗性类型已被用作半导体生产设备中静电查克材料
app亚博体育电导硝化陶瓷对高温或腐蚀性环境下无法使用金属材料时使用组件,以及电场控件和/或电排函数等需要电机或电子设备时使用组件有其他可能应用
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