2007年7月26日
PANalytical的新的软件版本4.2 X 'Pert外延和Smoothfit允许的详细分析半导体外延层使用公司的X 'Pert PRO MRD早些时候,高分辨率X射线衍射仪。包的一部分PANalytical X 'Pert软件使用范围XRDML格式。
X 'Pert外延,从PANalytical Smoothfit软件4.2版本。
在分析半导体外延层,获得适合仿真的数据可能是一个挑战。X 'Pert外延和Smoothfit自动适合模拟摇摆曲线测量数据。它提供了五种不同的算法,可以为独特的配件需求。默认为所有算法拟合参数允许“快速启动”使用的软件构建经验,根据需要可以选择算法。
用户可以选择从以下算法:Smoothfit,调整控制参数,获得精确的测量;Levenberg-Marquardt自动调整计算;主轴为真正的统计的参数空间;遗传算法,全局优化技术参数值开始的信心水平低;和模拟退火,避免局部最小值的问题。
流线型的合适的选项卡显示所有参数被安装的生活状态。在完成任何参数接近将突出显示上限或下限,允许用户选择re-fit扩展参数在适当的地方。