2007年2月23日
Aviza Technology，Inc。，全球半导体行业及相关市场的高级半导体资本设备和流程技术的供应商今天宣布，其SIGMA®FXapp亚博体育P™物理蒸气沉积（PVD）系统的后续发货到美国领先的设备供应商，用于用于美国领先的设备供应商通信市场。该系统将用于散装声波（BAW）设备的生产规模制造，主要用于移动通信市场。
“我们很高兴收到BAW设备领先制造商的重复订单，” PVD/CVD/CVD/Etch Aviza Technology Inc. Inc.的PVD/CVD/ETCH业务部门的凯文·克罗夫顿（Kevin Crofton）说：“我们相信这是其中的主要制造商行业部门开始将BAW过滤器开发视为RF MEMS市场中的关键组成部分。阿维扎（Aviza）在BAW应用程序的开发和商业化中仍然处于最前沿，我们认为，随着我们不断增长的安装BAW资本设备的基础，包括我们在欧洲，美国，美国和亚洲安装的Sigma系统，在这个市场领域中具有很强的地位app亚博体育。”
屡获殊荣的Sigma FXP是一种专为高批量PVD处理设计的单滤器群集工具，可提供具有高吞吐量的出色过程控制。这是一个高度灵活的系统，支持各种过程室配置和组合，以解决各种特定应用程序。沉积过程模块基于标准设计，可实现简单的技术升级和晶圆尺寸转换。Sigma FXP的关键应用包括钛/硝酸钛（TI/TIN）衬里和铝（AL）互连，用于低于0.35的微米节点设备，包括电离的PVD PVD衬里，包括用于Tungsten（W）的电离PVD衬里 - 非常厚，非常厚的动力设备的AL以及高度均匀的氮化铝（ALN），用于BAW设备和薄膜头。
实现出色的膜均匀性，以提高产量并增强正确的晶体结构或质地，对于BAW处理至关重要。Sigma FXP旨在提供生产预先的硬件和过程技术，以提供对BAW制造商至关重要的最佳均匀性和纹理要求。