牛津仪器今天宣布启动PlasmaProASP系统,Atomfab内高率原子层沉积研究系统®产品范围
PlasmaProa系统图像感想:牛津工具
PlasmaPro ASP从新专利远程等离子源设计、最优室几何学和长波级偏差获益,以控制离子能合并这些特征可提供3倍快速ALD率、低阻抗度和高Tc超导Nitride薄膜等离子源设计包括与Eindhoven技术大学合作,该大学接收开发模块研究等离子参数空间并确认高率低损源特征与TU/e联合开发后发表的研究论文在去年AVSALD/ALE大会上获奖最佳论文
牛津仪器公司与TU/e继续协作开发过程,TU/e在过去一年中一直作为PlasmaPro应用加速器处理量子应用和附加应用
系统极佳地补充了牛津仪器中原创ALD工具集,因为它在生产率和等离子能力方面有所区别。因此它为我们研究电子学、光学和量子技术领域提供一些独特机会。”dr.ir教授亚博网站下载Erwin Kessels主席Plasma材料处理组
亚博网站下载PlasmaPro超导量子素市场PlasmaProaaSP设计处理关键量子挑战,使用创新高流源设计高机启动时间和直觉软件用户界面PTIQ
源码设计出自Atomfab®ALD生产产品PlasmaProASP保留进程速度和强健性,并加硬件提高灵活性,为量子市场加速开发周期提供独特的解决方案。”Russ Renzas博士 量子技术市场管理者 牛津仪器等离子技术
牛津乐器正在参加 美国Vacum学会23华府原子层沉降年度会议(AVSALD/ALE2023)7月23日至26日在华盛顿贝尔维尤牛津仪器等离子技术团队将可到公司小站讨论PlasmaProASP,并分享它最新的原子级处理量子技术和其他开发技术解决方案
源码 :https://www.oxinst.com/