新的SIC外观附加底物准备解决方案:牛津仪器推出清洁剂,绿色和便宜的EPI-PREP替代方案CMP

牛津工具等离子技术今天宣布了一种准备SIC底物的新替代方法。SIC底物的血浆抛光已被证明是化学机械平面化(CMP)的优质和HVM兼容替代品,同时减轻了与CMP相关的大量技术,环境和供应链问题。

牛津仪器的等离子抛光蚀刻(PPDE)工艺是CMP的直接插头和播放替代品,并且可以轻松地集成到现有的过程流中。多年来,CMP一直是SIC底物准备的记录过程,但遭受了不良的操作问题的困扰,整个行业都在努力满足对SIC基质的日益增长的需求。SIC底物工厂的操作CMP由于半毒性的泥浆两种功能而具有较大的环境足迹,并且该工艺要求的重水使用量很大。此外,在具有挑战性的供应链环境中,抛光垫和特种化学品带来了可消耗的大量成本。此外,由于消耗了浆液化学物质和抛光垫,CMP工艺本质上是不稳定的,因此将漂移引入过程线。PPDE是一个稳定的非接触过程,可减少处理损失,并允许处理较薄的晶圆并每boule产生更多的晶片。

“有一个令人信服的技术和商业案例,用于选择血浆表面制备来产生Epi-Ready SIC底物。从技术角度来看,我们有一条通往较薄的晶圆的途径,其弓箭质量较低,精美的表面质量,这是一个强大的商业案例,用于从供应链中取出成本和复杂性,除了提供一个更清洁的绿色过程,该工艺兼容,该工艺兼容型号,并且可以集成”等离子技术的战略业务发展总监Klaas Wisniewski评论:他还补充说:“这是一个非常有吸引力的主张,作为一种技术,与当前的方法相比,以较低的成本提供了更好的结果,可以像类似的那样降低生产流,并可以使SIC设备的环境可持续生产。”

牛津仪器等离子技术将在2022年9月11日至16日在达沃斯瑞士国际碳化物和相关材料(ICSCRM / ECSCRM)国际会议上正式启动其PPDE流程。亚博网站下载设备结果利用其专利的PPDE工艺来自其商业铸造合作伙伴制造的晶片。在活动中,还将有机会亲自讲话,讨论在大型制造工厂中实施PPDE。注册以参加此链接https://icscrm2022.org/registration并进行一次面对面的会议,请联系[电子邮件保护](副总裁,战略生产市场,牛津工具等离子技术)。

来源:https://plasma.oxinst.com/

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    牛津仪器等离子技术。(2022年8月24日)。新的SIC外观底物准备解决方案:牛津仪器推出清洁剂,绿色和便宜的EPI-PREP替代方案CMP。Azom。于2023年3月10日从//www.washintong.com/news.aspx?newsid=59830检索。

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    牛津仪器等离子技术。“新的SIC外延底物准备解决方案:牛津仪器推出清洁剂,绿色和便宜的EPI-PREP替代方案CMP”。Azom。2023年3月10日。

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    牛津仪器等离子技术。“新的SIC外延底物准备解决方案:牛津仪器推出清洁剂,绿色和便宜的EPI-PREP替代方案CMP”。Azom。//www.washintong.com/news.aspx?newsid=59830。(2023年3月10日访问)。

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    牛津仪器等离子技术。2022。新的SIC外观附加底物准备解决方案:牛津仪器推出清洁剂,绿色和便宜的EPI-PREP替代方案CMP。Azom,2023年3月10日,//www.washintong.com/news.aspx?newsid=59830。

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