牛津工具等离子技术今天宣布了一种准备SIC底物的新替代方法。SIC底物的血浆抛光已被证明是化学机械平面化（CMP）的优质和HVM兼容替代品，同时减轻了与CMP相关的大量技术，环境和供应链问题。
牛津仪器的等离子抛光蚀刻（PPDE）工艺是CMP的直接插头和播放替代品，并且可以轻松地集成到现有的过程流中。多年来，CMP一直是SIC底物准备的记录过程，但遭受了不良的操作问题的困扰，整个行业都在努力满足对SIC基质的日益增长的需求。SIC底物工厂的操作CMP由于半毒性的泥浆两种功能而具有较大的环境足迹，并且该工艺要求的重水使用量很大。此外，在具有挑战性的供应链环境中，抛光垫和特种化学品带来了可消耗的大量成本。此外，由于消耗了浆液化学物质和抛光垫，CMP工艺本质上是不稳定的，因此将漂移引入过程线。PPDE是一个稳定的非接触过程，可减少处理损失，并允许处理较薄的晶圆并每boule产生更多的晶片。
“有一个令人信服的技术和商业案例，用于选择血浆表面制备来产生Epi-Ready SIC底物。从技术角度来看，我们有一条通往较薄的晶圆的途径，其弓箭质量较低，精美的表面质量，这是一个强大的商业案例，用于从供应链中取出成本和复杂性，除了提供一个更清洁的绿色过程，该工艺兼容，该工艺兼容型号，并且可以集成”等离子技术的战略业务发展总监Klaas Wisniewski评论：他还补充说：“这是一个非常有吸引力的主张，作为一种技术，与当前的方法相比，以较低的成本提供了更好的结果，可以像类似的那样降低生产流，并可以使SIC设备的环境可持续生产。”
牛津仪器等离子技术将在2022年9月11日至16日在达沃斯瑞士国际碳化物和相关材料（ICSCRM / ECSCRM）国际会议上正式启动其PPDE流程。亚博网站下载设备结果利用其专利的PPDE工艺来自其商业铸造合作伙伴制造的晶片。在活动中，还将有机会亲自讲话，讨论在大型制造工厂中实施PPDE。注册以参加此链接https://icscrm2022.org/registration并进行一次面对面的会议，请联系[电子邮件保护]（副总裁，战略生产市场，牛津工具等离子技术）。
来源：https://plasma.oxinst.com/