新星(纳斯达克:NVMI)今天宣布,其合著的论文与IBM研究“在线拉曼光谱叠加Nanosheet设备制造”被选为戴安娜的获胜者Nyyssonen奖“最佳论文学报2021年先进光刻座谈会。“这个奖项是授予新星和IBM在2022年大会的开幕。
本文是一个连续的结果之间的合作的公司开无数创新的联合开发项目,加强先进的芯片制造。本文展示了小说新星促进先进过程控制技术,利用其独特的和差异化的解决方案。作为与IBM合作研究的一部分,Nova安装最先进的投资组合在IBM研究实验室在奥尔巴尼,纽约。
监测和控制应变在下一代设备在复杂的纳米结构是一个新的挑战。一个合适的无损、快速在线技术成功研发和生产是至关重要的。的共同努力展示了在线拉曼光谱无损应变计量在多个关键流程步骤整个front-end-of-line FEOL堆叠nanosheet设备的制造周期。建立在线拉曼的重要性和支持材料在高容量计量制造日益增长的需求。亚博网站下载
我们的在线拉曼光谱与Nova工作支持关键的进步的逻辑扩展,提供了新的途径管理应变计量nanosheet晶体管、“慧明Bu博士说,副总统,混合云技术研究&奥尔巴尼操作在IBM研究。“这指导下共同努力协作生态系统IBM和合作伙伴在奥尔巴尼引导培育我们的前缘逻辑技术研发路线图。”
“我们荣幸被选中这个殊荣与IBM合作研究,“谢Wolfling博士说,新星的首席技术官。“控制Nanosheets应变在关键流程步骤是我们创新的新星ELIPSON通过TM拉曼光谱的解决方案,目的是测量材料属性如压力、结晶度和表面属性对记忆和逻辑设备。亚博网站下载与IBM共同工作的研究表明,通过与我们的客户合作,我们可以引入新技术,提供突破性的解决方案,使过渡到下一代制造”。
关于新星:
新星是一个领先的创新者和关键供应商的材料,光学和化学计量解决方案在半导体制造先进的过程控制。新星提供不断创新,提供最先进的高性能计量解决方案有效的过程控制整个半导体制造生命周期。新星的产品组合,结合高精度硬件和尖端的软件,为客户提供深度洞察开发和生产最先进的半导体器件。新星的独特能力,提供创新的解决方案让客户提高性能,提高产品产量和加速投放市场的时间。新星作为合作伙伴从其世界各地的办事处半导体制造商。额外的信息可能会被发现新星的网站链接——https://www.novami.com/。
新星在纳斯达克交易&作弄,纳斯达克股票代码NVMI。
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