自1960年代以来，随着椭圆法的发展，椭圆法提供了测量微电子中使用的纳米尺度层所需的灵敏度，对椭圆测量法的兴趣稳步增长。如今，其应用程序的范围已扩展到物理科学，半导体和数据存储解决方案，平板显示，通信，生物传感器和光学涂料行业的基础研究。亚博老虎机网登录在这里，我们专门查看了J A Woollam Thetase椭圆机及其在半导体行业的用途。
图片来源：英国和爱尔兰量子设计
Theta-SE是一种推动式光谱椭圆机，用于表征薄膜均匀性。它以负担得起的价格以紧凑型包装为高级椭圆测量仪器。
所需应用的感兴趣波长的结果
对于许多应用，需要在特定波长下进行光学特性。例如，半导体行业对光刻感兴趣，该光刻需要在紫外线区域进行椭圆测量（157nm，193nm，248nm，…）。展示行业对可见范围感兴趣。光学涂层需要在其设计波长下进行测量，无论是在可见的，红外还是中红外波长。Woollam光谱椭圆计覆盖了光谱范围从33微米到140nm。该系列提供了令人难以置信的灵活性，几乎可以满足任何应用要求。
半导体行业
- 电介质（氧化物，氮化物，碳化物）
- 聚合物（低射线常数）
- 多硅氧核桃
- 多层（Onopo，soi，…）
- 光刻应用
- 光吸毒者
- 防反射涂料
- 光掩膜
- 复合半导体
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量子设计代表英国和爱尔兰的J A Woollam。
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