通过简单的3D打印过程制造NEMS设备

微电机机械设备(MEMS)基于在微米尺度上的机械和电气组件的整合。我们都在日常生活中不断使用它:例如,在我们的手机中,至少有十几个MEMS调节不同的活动,包括手机的运动,位置和倾斜度监控,不同的传输带的活动过滤器和麦克风本身。

更有趣的是这些设备(NEMS)的极端纳米级微型化,因为它提供了产生具有敏感性的惯性,质量和力传感器的可能性,使它们可以与单分子相互作用。

但是,NEMS传感器的扩散仍然受到传统基于硅技术的高生产成本的限制。相反,诸如3D打印之类的新技术表明,可以以低成本和有趣的固有功能创建相似的结构,但迄今为止,作为质量传感器的性能很差。

文章“使用3D打印机纳米力学谐振器达到基于硅的NEMS表演”发表在享有声望的期刊上自然通讯显示了如何从3D打印中获得具有优点图,质量因子,发表的稳定性,质量灵敏度和强度与硅谐振器相当的功绩的数字的机械纳米孔子。这项研究是Politecnico di Torino之间合作的结果 - 这要归功于Stefano Stassi和Applied Science and Technology -Disat系的Stefano Stassi和Carlo Ricciardi与Mauro Tortello和Fabrizio Pirri(名称和MPNMT组) - 以及Mauro Tortello亚博老虎机网登录和Fabrizio Pirri(以及名称) - 以及耶路撒冷希伯来大学,伊多·库珀斯坦(Ido Cooperstein)和萨洛莫·马格达西(Shlomo Magdassi)的研究。

通过在新的液体组成上进行两光聚合聚合获得了不同的纳米台词(膜,悬臂,桥梁),然后是去除有机含量的热过程,使陶瓷结构具有很高的刚性且内部耗散较低。这样获得的样品通过激光多普勒振动法进行表征。

“我们已经制造和表征的NEM - 解释了Stefano Stassi - 具有与当前硅设备一致的机械性能,但是它们是通过更简单,更快,更广泛的过程获得的,这也可以添加新的化学物质 -物理功能。例如,本文中使用的材料是nd:yag,通常用作红外范围内的固态激光源”

“制造具有类似于硅的复杂和微型设备的能力- Shlomo Magdassi说 -通过快速,简单的3D打印过程,将新的视野带入了添加剂制造和快速制造领域。”

这项工作是在2017年Prin.20172TZHYX的研究项目中开发的,由部长Dell'universitàEdellaRicerca(MUR)和H2020 FET Open“ Boheme”,由以色列科学技术部资助亚博老虎机网登录以及新加坡总理办公室国家研究基金会在其卓越研究和技术企业(创建)计划下。

资源:https://www.polito.it/

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