来自Extrel的新型质谱仪

全球领先的研究和过程质谱仪制造商Extrel推出了新的VeraSpec，扩大了其高性能产品组合^TMAPIMS用于超高纯度(UHP)气体污染分析。

大气压电离质谱(APIMS)被广泛认为是纯气体分析的强大工具，因为它具有独特的实时、多组分测量的能力，甚至达到万亿分之一水平。

自1964年以来，Extrel是值得信赖的质谱仪来源，凭借其新的VeraSpec APIMS提供最佳的性能、可靠性和易用性，可在单一仪器中实时监测最关键的杂质——微量氧、水分、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氨等。

它是为研究、电子气体和半导体应用而开发的第一款Extrel APIMS系统，集成了触摸屏图形用户界面，用于气体纯度的使用点可视化指示器，提高了操作效率。

使用非常简单，VeraSpec APIMS有一个直观的基于web的界面，用户可以轻松地操作它，可以检查仪器状态，查看数据趋势，并进行详细的分析，只需点击一个按钮。通过选择预定的自动校准，维护也减少了。

我们最新的VeraSpec APIMS系统结合了电子冲击和大气压电离源。这种独特的双源电离配置提供了无与伦比的分析范围。它允许在一个系统中对纯气体样品中的所有成分进行完整的分析，从PPT到%级别，非常划算。

查克·迪卡洛，埃斯特雷尔公司业务发展经理

Extrel将在Semicon West展位933展示其气体分析解决方案。参观者将了解到VeraSpec APIMS系统如何通过单一分析仪以最高的灵敏度和灵活性监测各种气体和杂质。专家也将在现场讨论Extrel连续半导体散装气体纯度验证的成本效益解决方案。

欲了解更多信息，请访问https://extrel.com/products/gas-analysis-systems/veraspec-trace-apims/．