Herzan很高兴宣布Spicer Consulting：SC28监视系统的最新版本。
SC28监视软件
图片来源：赫赞
SC28在实验室和半导体FAB内实现了磁场，振动和声学噪声以及温度和湿度的长期监测。该系统是故意设计的，以监视电子束仪器的环境，包括扫描电子显微镜（SEM），传输电子显微镜（TEM），电子束光刻工具以及基于SEM的计量和检查工具。
盒子里装了什么
SC28利用高性能传感器并监视硬件，以清楚而全面地了解所测量的环境。
SC28监视软件
图片来源：赫赞
监视系统：SC28/SI AC/DC
传感器：传感器SC24/DC+AC和传感器SC11/AC
声学麦克风：Brüel＆Kjær4190麦克风
振动传感器：Wilcoxon 731a加速度计（三个）
温度/湿度传感器：传感器SC28/TH
独特的功能
SC28监视软件
图片来源：赫赞
有目的设计：电子束仪器的长期环境监测
完整的环境监控：连续测量磁场，地板振动（X，Y和Z），2kHz处的声学水平以及1Hz或以下的温度/湿度
完全视觉：可以同时显示多达14个不同的图表
全面的收购：获取传感器数据和日志光谱以及图表到日期stamp的文件
无头：可以在没有用户界面打开的情况下运行