卓越的批处理结果与Picosun新一代工具

从Picosun集团2021年10月15日看过的劳拉·汤姆森

PICOSUN^®在为全球半导体行业客户进行的最新验收运行中，Morpher继续展示了出色的批处理结果。在使用不同的薄膜材料(如Al)的多次验收运行中，达到了优良的均匀性(<1% 1sigma)和个位数粒子水平亚博网站下载₂O_3.和SiO₂．

PICOSUN^®morphher于2019年推出，适用于200毫米晶圆市场。该工具的优势在于能够适应从企业研发到生产和铸造制造等不同垂直领域不断变化的需求。它可以实现MEMS、传感器、led、激光、电力电子、光学和5G组件的全自动和高吞吐量生产。

“市场对PICOSUN表现出了极大的兴趣^®morphher推出后，现已成为300毫米以下生产市场的主导产品。我们已经交付了PICOSUN^®morphher提供给各种类型的客户，最新包括世界领先的制造商，他们使用该工具进行试点和大规模集成电路制造。”Picosun集团工业商务区副总裁Juhana Kostamo说。

今年早些时候，Picosun集团宣布了破纪录的批量胶片质量结果与Picosun^®为300毫米晶圆市场提供的Picosun新一代工具。

来源:https://www.picosun.com/

引用

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美国心理学协会
Picosun组。(2021年10月15日)。卓越的批处理结果与Picosun新一代工具。AZoM。于2021年11月1日从//www.washintong.com/news.aspx?newsID=56965检索。
MLA
Picosun组。“卓越的批处理结果与Picosun新一代工具”。AZoM．2021年11月01。< //www.washintong.com/news.aspx?newsID=56965 >。
芝加哥
Picosun组。“卓越的批处理结果与Picosun新一代工具”。AZoM。//www.washintong.com/news.aspx?newsID=56965。(2021年11月1日生效)。
哈佛大学
Picosun组。2021。卓越的批处理结果与Picosun新一代工具．viewed september 21, //www.washintong.com/news.aspx?newsID=56965。