JEOL Ltd.（总裁兼COOIZUMI OI）宣布它已经开发了半透镜版本（i）/（IS），这对于观察肖特基场发射电子显微镜JSM-IT800的半导体器件（推出）5月2020年5月），并于2021年8月开始销售它们。
图片来源:Business Wire
开发背景
扫描电子显微镜被广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等领域。随着SEM应用范围的扩大，不仅包括研发，还包括生产现场的质量控制和产品检验，SEM用户需要快速高质量的数据采集，以及简单的成分信息确认和无缝分析操作。
为了满足这些需求，JSM-IT800采用我们的镜头肖特基加上现场发射电子枪，用于高分辨率成像，以及创新的电子光学控制系统“Neo Engine”，以及无缝GUI“SEM中心”的系统快速元素映射与完全嵌入的JEOL能量分散X射线光谱仪（EDS），作为公共平台。此外，JSM-IT800允许更换SEM的物镜作为模块，提供不同的版本来满足各种用户需求。
JSM-IT800有五个版本，具有不同的物镜:混合透镜版本(HL)，这是一个通用的FE-SEM;一个超级混合镜头版本(SHL/SHLs，两个版本具有不同的功能)，可以实现更高分辨率的观察和分析;以及新开发的半透镜版本(i/is，两种不同功能的版本)，适用于半导体器件的观察。
JSM-IT800还可以配备新的闪烁体反向散射电子检测器（SBED）。SBED可以轻松地观察高响应性的实时图像，并使甚至在低加速电压下也产生锐度的材料对比。
特征
1.透镜内肖特基+场发射电子枪
增强的电子枪和低差冷凝器透镜的集成提供了更高的亮度。充足的探针电流可在低加速电压（5kV处为100纳）。独特的镜头肖特基加系统允许各种应用，从高分辨率成像到快速元素映射，电子反向散射衍射（EBSD）分析。
2.新发动机（新电子光学发动机）
Neo Engine是集多年JEOL核心技术于一身的尖端电子光学系统。即使改变不同的观察或分析条件，用户也可以进行稳定的观察。大大提高了自动化功能的可操作性。
3. SEM中心/ EDS集成
一个GUI“SEM中心”完全集成了SEM成像和EDS分析，提供无缝和直观的操作。JSM-IT800可以通过合并可选的软件附加组件(如SMILENAVI)来增强，以帮助并为新手用户提供学习路径，以及Live -AI过滤器(Live Image Visual Enhancer -AI)来获得更高质量的Live图像。
4.Semi-in-lens版本(我是)
半透镜通过将电子束与形成在物镜下方的强磁场透镜聚合的电子束实现超高分辨率。此外，系统有效地收集从样本发射的低能量二次电子，并用上透镜上的透镜检测器（UID）检测电子。因此，它能够高分辨率观察和分析倾斜的样本和横截面样本，这是半导体器件的故障分析所必需的。此外，它对于电压对比度观察非常有用。
5.上电子探测器（UED）
在物镜上方可以安装上电子探测器。该系统的优点是能够采集背向散射电子图像，并结合样品偏压采集二次电子图像。从样品发射的电子由物镜内的UID过滤器选择。UED和UIT允许在一次扫描中获取多个信息。
6.新型背散射电子探测器
该闪烁体背散射电子探测器(SBED，可选)具有高响应性，适合在低加速电压下获取材料对比度图像。
销售目标
1）JSM-IT800I版本：5个单位/年
2）JSM-IT800IS版本：40个单位/年
产品URL：https://www.jeol.co.jp/en/products/detail/jsm-it800.html.
来源：https://www.jeol.co.jp/en/