芬兰ESPOO, 2021年7月28日消息——Picosun集团向ams OSRAM提供尖端原子层沉积(ALD)技术，用于批量制造光学半导体器件。
欧司朗投资了一个完全自动化的PICOSUN®morphher生产集群，该集群可以在一批晶圆上沉积多种材料，即使在同一过程运行。亚博网站下载PICOSUN®morphher系统的灵活性和工艺多样性是一个关键优势，这使得批量生产以及新工艺的测试能够用于未来产品的研发。
Picosun集团和ams OSRAM在一个公共资助项目FLINGO (m-era.net项目)中合作开发新的ALD材料和工艺，以改善led的特性，如效率和耐久性。亚博网站下载ALD系统交付后，双方将继续合作，进一步扩大ALD在光电半导体加工中的应用。
“自2010年以来，我们一直与Picosun合作，现在有了这笔投资，我们的合作将达到下一个水平。我们非常高兴PICOSUN™morphher F集群平台安装在我们的洁净室”，ams OSRAM的Sebastian Taeger博士说。
“光学半导体市场是目前Picosun关注的一个领域。这是一个快速增长的市场，我们为基于复合半导体的设备提供量身定制的解决方案。在FLINGO项目和系统规范阶段，我们与欧司朗的技术团队有很好的合作。这两家公司的专业知识已导致优化ALD解决方案，以提高客户产品的性能。Picosun Europe GmbH总经理Christoph Hossbach博士继续说道。