埃斯波,芬兰,2021年4月13日——Picosun集团已经证明大大提高生产效率的LED和OLED客户Picosun®p - 300 bv“肾上腺脑白质退化症”的系统。最近的测试表明,退化过程周期时间减少和增加的晶片数量相同的沉积膜厚度导致近100%更好的吞吐量。吞吐量超过20可以达到每月000片晶圆片批100片*。同时,过程质量的膜厚均匀性仍然在一个优秀的水平(< 1%时1σ)测量在晶片,薄片以及批次。
“Picosun ALD的解决方案已经成为标准的高容量ALD制造业。PICOSUN®p - 300 bv ALD系统是专门为led和oled的生产。与我们的经验和深厚的技术在退化,我们不断努力减少总体拥有成本和确保未来保证为我们的客户”,州Juhana Kostamo,副总裁Picosun集团的工业业务领域
全球LED和OLED制造商相信ALD的生产来实现更好的设备性能和延长产品寿命。保形,这是薄的结果统一和pinhole-free材料层沉积ALD的钝化和防潮以及创建缓冲区和界面层。
4“100片,每分钟20000个字,< 1σ注水井,1% < 1% 1σWtW, < 1% 1σBtB(120海里TMA + H2O @ 200C)
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Picosun提供最先进的敏捷ALD®(原子层沉积)薄膜涂层解决方案的全球产业。Picosun ALD的解决方案使技术飞跃到未来,成套生产过程和无与伦比的,开创性的专业领域——可以追溯到的发明技术本身。今天,PICOSUN®ALD设备在日常生app亚博体育产中使用大量的世界各地的主导产业。Picosun总部设在芬兰,与子公司在德国、美国、新加坡、日本、韩国、中国大陆和台湾,办公室在印度和法国,和一个全球的销售和支持网络。访问www.picosun.com。