TESCAN宣布推出新的MultiVac模块，将传统的低真空和可变压力功能添加到TESCAN SEMs中

TESCAN ORSAY HOLDING a.s.宣布发布其新的MultiVac模块，为TESCAN SEMs提供增加低真空和可变压力能力的选项。改变室内空气是一种既有技术，用于减轻电荷，使样品在其自然状态下成像，并与气体二次电子探测器（GSE）相结合，实现低keV或低束流下的高倍率地形成像。

含有轻元素的样品在电子束下更透明，这使它们更容易充电，但仅使用低束电压来解决充电问题意味着您可能会错过样品中的重要地形信息。我们开发了MultiVac，以解决电荷控制和高倍率低keV成像的需要，该成像能够揭示非导电、束敏和放气样品的精细表面细节。

Petr Klimek，TESCAN产品营销经理

MultiVac在N中运行_2.和H_2.O大气压以及扩展可变压力（3–500 Pa）。

MultiVac的GSD，用于H时_2.O大气，擅长增强对比度，在低keV和低电流下实现高分辨率成像，以获得详细的地形特征。与低真空模式下气体分子有效减少信号收集不同，GSD在可变压力H下工作_2.O大气探测电离分子，作为信号增强器，并对发射的电子进行采样，以便在低keV和低束流下轻松生成图像。

MultiVac与TESCAN SEMs无缝集成，并与其他TESCAN功能（如Essence）兼容™ EDS、TESCAN碰撞模型、光学导航和相关相机以及TESCAN广域成像模式。与其他TESCAN硬件和软件解决方案一样，MultiVac由TESCAN的精华直接控制™ 软件，使所有用户都可以轻松访问高质量的特性描述。

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