牛津仪器等离子体技术公司(Oxford Instruments Plasma Technology)是大规模制造和研发(R&D)等离子体加工解决方案的领先供应商，该公司很高兴地宣布，它将参与欧洲石墨烯旗舰基金资助的“2D实验中试线”。
欧洲领先的半导体铸造厂和研究机构正在共同努力，创造世界上第一条生产线，将二维(2D)材料增强半导体技术从实验室带入商业设备。亚博网站下载
牛津仪器很荣幸成为此次跨欧洲合作的唯一原子层沉积(ALD)硬件和工艺解决方案合作伙伴，继续与创新的全球合作伙伴合作，将领先的研究转化为制造环境，推动器件性能的改善。该项目由欧盟委员会资助，将在4年内投资2000万欧元。该项目于2020年10月1日启动，将建立一个基于2D材料的电子、光子学和传感器原型生产的欧洲生态系统。亚博网站下载
2D材亚博网站下载料已被证明能够在传感器和光子学等广泛应用中实现卓越的器件性能。将这些设备推向市场的下一步是开发全晶圆的处理流程。牛津仪器公司拥有清晰的200mm晶圆单片等离子体处理解决方案，能够将该技术提升到一个新的水平。
牛津仪器公司在亚琛AMO成功安装了Atomfab远程等离子ALD系统，以支持200毫米晶圆上的设备制造。这种创新的等离子ALD系统已经证明了将高质量的高钾材料沉积到二维材料上的能力，并且没有层损。亚博网站下载Atomfab是专门为大批量生产而设计的，具有市场领先的产量和成本，可在单个晶圆处理平台上提供远程等离子ALD，处理直径可达200毫米的晶圆。
新的ALD工具将帮助AMO和2D实验性中试线(2D- epl)将2D材料的研究提升到更高的制造准备水平。亚博网站下载我们不仅仅是在谈论另一种工具，而是关于AMO和牛津仪器之间的战略伙伴关系，在AMO中嵌入一位专注的牛津仪器科学家，以加强2D材料的研究和开发。亚博网站下载这种密切的合作是AMO通过与工业伙伴联合研发项目来追求技术转移的一个很好的例子。
Max Lemme教授，AMO主任
对新一代app亚博体育材料器件的设备需求达到了一个新的水平。所需要的是高性能和同时具有成本效益的解决方案——这些标准并不总是容易调和，因此只能通过高级工艺技术来实施。因此，我们非常高兴地看到，这一开创性的试点生产线与世界领先的设备制造商将充分利用我们先进的Atomfab ALD技术。通过与这些世界领先的联盟合作，我们继续构建我们的战略，通过投资有前途的技术，如今天的2D材料，使高性能设备的制造成为可能。亚博网站下载
Klaas Wisniewski，牛津仪器等离子体技术战略业务发展总监
在过去的十年里，研究发现了二维材料的一些独特特性，显示出解决未来电子和光子器件和传感器的一些关键性能瓶颈的潜力。亚博网站下载虽然有许多实验室类型的原型设备的演示显示超越了最先进的性能，把这些设备带入市场，我们需要开发工具包和bkm制造的2D材料，这是兼容半导体行业的标准。亚博网站下载Imec正领导着2D实验中试线的努力，以建立一个工业生态系统，以提高2D材料的技术准备，我们期待着与牛津仪器和该联盟中的其他工具和材料供应商合作。亚博网站下载
Cedric Huyghebaert, 2D-EPL项目技术负责人
Oxford Instruments继续开发和支持市场领先的原子尺度制造解决方案，这对2D材料使能器件的制造至关重要。亚博网站下载