TESCAN纳米机械手是专门为TESCAN SEM和FIB-SEM仪器设计的,为用户提供一个减少振动的解决方案,也提供了与TESCAN显微镜操作软件完全兼容的优势。
TESCAN ORSAY HOLDING a.s.发布了他们的纳米机械手,一个完全集成的解决方案,在室温和低温条件下,在TESCAN SEM和FIB-SEM仪器上支持提升以及微和纳米级操作。TESCAN纳米操作机是TEM片层提出、原型操作和局部电荷耗散应用的优秀解决方案,不需要样品旋转或先进的操作能力。TESCAN的设计减少了提升或操作过程中的振动,以实现平稳和可预测的运动。
由于该解决方案是在TESCAN内部设计的,专门针对TESCAN仪器,我们能够控制最终产品的质量,确保其与系统上的其他硬件和软件的兼容性,并在交付前在仪器上进行测试。我们相信,那些不需要复杂的提升和操作的用户会喜欢在他们的系统上使用我们的纳米操纵器。
Lukáš Hladík, TESCAN半导体市场FIB-SEM组合产品经理
TESCAN纳米机械手提供沿X, Y, Z轴的运动。由TESCAN的Essence显微镜操作软件中的模块直接控制,纳米操作器操作无需离开显微镜的实时视图窗口,使用鼠标手势进行导航。TESCAN纳米操作器的一些常见应用包括TEM片层提出,用于原型应用的微或纳米操作,在TESCAN TRUE-X切片方法中精确放置Si掩模以在非常高的等离子体fib铣削率下抑制屏蔽,以及局部电荷耗散。
TESCAN纳米机械手还设计用于快速和容易的探针交换,纳米机械手手臂可以从腔内拆卸,用于探针尖端交换。
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