特井Orsay持有A.S.宣布发布Tescan Rocking Stage，这是Tescan等离子体FIB-SEM仪器的完全集成的组件，可通过Tescan硬件和软件无缝运行。这个特通设计的摇摆阶段提供了其他摇摆阶段配置，例如垂直于主阶段X轴倾斜的Y轴倾斜以及对铣削过程的实时SEM监视，以进行精确的终点。
摇摆阶段的技术是改善表面质量和减轻窗帘伪像的最有效方法，这可能是由于使用高速材料去除的较高光束电流而产生的。在半导体故障分析和高级材料研究中，结果是客户的优先事项，这就是为什么他们使用等离子FIB的原因。亚博网站下载Tescan摇摆阶段进一步有助于结果，因为在已经熟悉的Tescan Essence GUI中进行了设置和操作。此外，Tescan摇摆阶段不会阻碍其他硬件组件的操作。
Tescan半导体行业Fib-Sem投资组合产品经理LukášHladík
摇摆阶段的设置向导允许用户设置自动铣削和摇摆工作流程，包括定义和存储两个或多个摇摆位置。Tescan摇摆阶段设计保留了FIB-SEM系统的多功能性，包括与负载锁，束减速模式（BDM）和REMSTEM检测器的完全兼容性。Tescan摇摆阶段可以容纳大型或平坦的薄样品，最多可容纳4英寸的晶圆。作为Tescan组件，Tescan对Tescan摇摆阶段进行了所有支持。
可以从2020年12月10日开始订购Tescan摇摆阶段，作为新的Solaris X和Amber X等离子体Fib-Sem系统的选择。Solaris X和Amber X G4系列仪器的当前用户可以联系Tescan，以询问有关添加新的Tescan摇摆阶段的信息。了解有关新的Tescan摇摆阶段的更多信息这里。