Picosun Group,敏捷ALD的领先提供商®(原子层沉积)用于工业制造的薄膜涂料解决方案,呈现Picoos™,新的,完整的堆栈操作系统和Picosun的过程控制软件®ALD设app亚博体育备。
“ Picoos™带来了picosun®ALD设app亚博体育备控制现代时代。它是为晶圆厂和工业环境而设计的,在这种环境中,向行业4.0过渡。数据驱动的PICOOS™启用了未来的生产解决方案,在其中使用机器学习,人工智能,文字和其他新的数字发明来实现最佳工业效率,”Picosun Group的首席执行官Jani Kivioja博士说。
Picosun的专有PICOOS™软件结合了单独的ALD模块,晶圆处理和转移系统,以及在一个常见的图形HMI(人机接口)下进行的仪器控制。这样可以确保整个picosun的简单,直观和用户友好的操作,维护和配置®ALD群集。
PICOOS™可以通过SEC/GEM协议,过程和系统数据登录到20 ms的速率以及实时导出所有数据以进行连续监视和进一步分析。
PICOOS™操作系统是由Picosun自己的内部软件团队专门针对该公司全自动生产ALD Systems Morpher和Sprinter开发的,它将在所有未来的Picosun中实施®ALD工具平台。
“ PICOOS™旨在确保最高控制精度和准确性,最快的服务时间以及为客户提供的最佳用户体验。对我们Picosun的所有功能和子组件进行内部控制®ALD解决方案是我们整体服务模型的关键部分,”继续Kivioja。
PICOOS™具有可自由配置和可扩展的编辑器,用于ALD Process配方和处理工作创建和存储,并且可以在ALD系统操作期间任何时间进行编辑或创建新的配方。可配置的用户级别和安全逻辑,仪器和联锁的确保在日常操作中安全使用,并允许在维护情况下完全访问工具管理。维护程序是通过软件中内置的特定清理和维护序列加强的。
来源:http://www.picosun.com