芬兰埃斯波，2020年12月2日–Picoson集团，全球工业用AGILE ALD®（原子层沉积）薄膜涂层解决方案的领先供应商，已推出短跑运动员，一种全新的、全自动的、用于300毫米晶圆的高通量ALD生产模块。屏障、高k和其他薄膜在Sprinter中沉积，具有用于半导体（例如新兴存储器、晶体管、电容器）、显示器和物联网组件应用的完美ALD。
在Sprinter中，单片薄膜的质量和均匀性被提升到具有最高可靠性和可重复性的快速批量处理(*)．
与通常用于批量ALD处理的垂直炉反应器相比，Sprinter提供了更高的膜质量和更低的热预算，因此它也适用于温度敏感器件。
Sprinter将非常快的处理时间与比立式炉更小的批量相结合，从而在不牺牲吞吐量的情况下实现更大的生产灵活性和最小化风险。
Sprinter的核心是其破坏性设计的反应室，其中完全层流的前驱体流确保完美的ALD沉积，无寄生CVD生长。这样可以最大限度地减少系统维护的需要。
“PICOSUN®Sprinter直接面对在300毫米晶圆上大批量ALD制造的挑战。Picosun集团首席执行官Jussi ratee先生说:“我们很高兴向我们在300毫米半导体市场的新和现有客户推出这一产品，并为他们提供一个真正颠覆性的、现代的批量ALD制造老技术的替代方案。”
半S2/S8认证PICOSUN®Sprinter模块可集成到客户的生产线或集群中。它也适用于单晶圆生产线，因为它不干扰工艺流程。sprint使用的是Picosun的新专利PicoOS™操作系统和过程控制软件。
“与Sprinter一起，我们也推出了我们的PicoOS™ 操作系统。我们的内部软件团队开发的自有操作系统和过程控制软件意味着最高的控制精度和准确性，最快的服务时间，以及我们客户的最佳可靠性和质量，”Rautee继续说道。
全栈皮库斯™ 软件允许控制、操作和配置PICOSUN®ALD设app亚博体育备–独立系统或完整生产集群–通过一个统一、直观且用户友好的图形HMI，并确保系统与客户工厂自动化之间通过SECS/GEM协议顺利连接。
可以在Picosun工厂使用Sprinter进行流程演示。Sprinter模块将于2021年1月开始销售，包含多个ALD模块、中央真空晶片处理单元和EFEM的完整Sprinter集群将于2021年春季晚些时候上市。
