entegris，Inc。是半导体和其他高科技行业的先进材料和流程解决方案的世界级供应商，今天宣布推出亚博网站下载了一种独特的流体管理系统，可以在整体上消除静电电荷的静电电荷manufacture of today’s advanced technology chips.
ENTEGRIS'新的创新ESD解决方案。图像信用：商业资讯
传统上用于运输溶剂的不锈钢流体管理系统和半导体制造中使用的其他易燃化学品不能满足今天对超低金属杂质的增加的要求。因此，先进的技术芯片制造商正在远离不锈钢系统转移到含氟聚合物（PFA）系统。虽然PFA系统减少了不锈钢系统引入的金属污染，但它们产生了与静电放电相关的新挑战，因为PFA是非导电电绝缘体。
根据Brett Reichow的说法，entegris先进材料处理（AMH）部门的流体管理副总裁亚博网站下载“通过化学输送系统流过流体中的静电电荷积聚的存在不仅可以从静电放电事件中损害系统中的流体处理部件，它可以导致硅晶片上的缺陷。静电放电还可以在半导体制造过程中产生不安全的条件，“他说。
Entegris已经开发了一种使用新材料的解决方案，该方法已经成功地减少了流过管道的流体亚博网站下载中的累积静电电荷以及可能在管外部构建的任何充电。“entregris的创新系统的PFA管，”Reichow说，“内部有导电条纹，并且配件由导电PFA制造，以在密封区域接触导电条件时产生地面的路径。”
根据AMH司的高级副总裁Bill Shaner，Entegris受益于超过三十年的提供创新连接技术，为高纯度处理市场开发其对ESD的解决方案，同时提高安全性并减少缺陷的潜力。“我们使用我们的专有制造设备和工艺共同挤出超纯PFA和导电PFA以创建一个单层。app亚博体育这种独特的PFA施工导致低金属污染，消除了分层风险和潜在的滞留区域，从而保持高化学纯度。这种新解决方案降低了安全风险，并最大限度地减少了财产损失的风险。此外，由于管道是半透明的，它允许目视检查流过系统的流体，“Shaner说。
金属提取测试的结果，entegris对新系统进行了表明它保持了与标准PFA管相似的纯度水平。此外，第三方测试公司确认了新系统的令人满意的接地性能。
“ENTEGRIS”新专利等待ESD系统，“谢尔说，“另一方面是旨在帮助微电子工业继续探讨清洁化学品送货系统的关键创新，以满足先进过程节点的需求。”
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