Picoson Group报告了用于神经假体和生物电子医学的金属电极的ALD有机双层封装的优异结果。该集团还报告了其ALD纳米层压板在水介质中对腐蚀性离子扩散的优异密封屏障性能。这是医疗ALD应用和植入术的一个重要结果，在这些应用中，需要保护金属部件和敏感微电子元件免受人体体液造成的腐蚀。
离子浓度SIMS（二次离子质谱）曲线作为距离ALD膜表面距离的函数。ALD膜厚度约为100纳米。Picosun的ALD纳米层压膜可有效阻止Na+和K+离子扩散，因此ALD膜中的离子浓度低于下方硅片中的浓度。
Picosun的ALD纳米层压板被证明完全阻止了钠的扩散+K+、Cl-和PO4.3.-离子，已知是水介质中腐蚀性最强的离子种类[1]。试验在87°C PBS（磷酸盐缓冲盐水）溶液中进行2个月（见图）。Picosun的几种ALD材料已经被证明是非细胞毒性的，并且对人体组织是安全的[2]，这为设计定制的纳米层压封装材料提供了极大的灵活性，以适应不同的基质和保护水平。亚博网站下载
用于（铂）金属电极保护，ALD HfO2.第一次将其用作紧贴金属沉积的附着物和最内层阻挡层，并将生物相容性有机聚合物PDMS（聚二甲基硅氧烷）应用于ALD膜的顶部，以结合两种材料的最佳性能，创建不渗透、稳定的双层保护[3]。ALD HfO亚博网站下载2.提供良好的表面附着力和密封性，而PDMS作为更“宏观”的层，在超薄ALD膜的顶部具有坚固性和坚固性。通过在室温下将双层涂层在PBS溶液中浸泡450天来测试它们。
这两项测试的结果再次支持了ALD为医疗器械行业面临的挑战提供全新解决方案的巨大潜力。微电子微型化和系统级集成的不断发展趋势也推动了植入式医疗设备的发展。当设备尺寸减小但其复杂性和设备在人体内花费的时间增加时，传统的封装方法失败。
“ALD优异的阻隔性能，无论是作为阻隔材料，还是与其他封装方法相结合，都支持了医疗微电子的小型化和功能化趋势，并使各种新型产品成为可能。ALD封装的引入还可以帮助制造商更换昂贵的贵金属组件使用更便宜的材料时，ALD保护可确保体内设备的惰性。Picoson的ALD技术已在多家医疗设备制造商中使用，我们希望继续引领ALD融入医疗保健行业。我们很高兴为制造商提供经生产验证的交钥匙解决方案，以实现全新一代更安全、更持久、用户友好的植入式设备，用于远程和数字医疗，”亚博网站下载Picoson集团首席技术官Jani Kivioja博士说。
参考资料：
[1] ALD 2019–第19届原子层沉积国际会议，2019年7月21日至24日，美国华盛顿贝尔维尤/ULIMPIA项目，由PENTA资助，资助号为PENTA-2017-Call2-16101-ULIMPIA。
[2]https://www.picosun.com/press/picosun-expands-selection-of-biocompatible-ald-亚博网站下载materials-for-medicalapplications/
[3] Nanbakhsh等人，“使用HfO对铂金属化的长期封装2.ALD-PDMS双层非气密有源植入物”，IEEE第70届电子元件和技术会议记录，2020年6月3日至30日，美国佛罗里达州奥兰多/POSITION-II项目，由ECSEL JU资助，批准号ECSEL-783132-POSITION-II-2017-IA。
资料来源：https://www.picosun.com/