Picosun集团，AGILE ALD供应商®(原子层沉积)薄膜涂层技术的全球工业，报告了ALD在制造锂离子薄膜电池材料取得的优异结果。亚博网站下载
传统的2D全固态薄膜锂离子电池结构示意图(a)， SEM切片图(b)，以及3D电池结构的优点。图像来源:Yue et al.， si基三维微电池的制备:综述，机械工程前沿2017 (doi: 10.1007/s11465-017-0462-x)。
固态锂离子薄膜电池(sslib)体积小，结构紧凑，结构灵活。它们不含任何腐蚀性液体物质，所以使用是安全的。此外，sslib具有良好的储能能力，被认为是电动汽车、笔记本电脑、平板电脑和智能手机、无线传感器、可植入和可穿戴医疗设备以及可再生能源采集设备的理想电源。锂离子电池技术对我们现代社会的影响是如此巨大，以至于它的开发者约翰·b·古迪纳夫博士、m·斯坦利·惠廷汉姆博士和吉野明博士获得了今年的诺贝尔化学奖。
随着这些器件性能要求的提高，其电源的功能特性也应得到改善。从平面、二维电池几何形态过渡到具有更大活性表面积的三维波形电池储能，可以增加SSLIB的能量和功率密度。然而，寻找一种合适的方法将功能材料层沉积在3D电池的复杂微尺度结构上，是另一个挑战。
Picosun的ALD技术现已成功用于制造用于sslib的高质量、高性能薄膜NiO阳极。与广泛用于生产锂离子电池阳极的石墨相比，沉积的NiO薄膜具有两倍以上的容量和三倍以上的高密度(*)。NiO优异的特性可能会改善sslib的能量密度。
除了ALD NiO阳极的高质量和性能，ALD在具有挑战性的微尺度结构(如高纵横比沟槽)内生产具有优异纯度和重复性的共形和均匀涂层的无与伦比的能力，使其成为3D SSLIB材料制造的理想方法。亚博网站下载此外，ALD工艺还适用于其他几种阳极材料，如snoo亚博网站下载2、CoO和MnO都是众所周知的，并且被研究得很透彻。
”我们对PICOSUN非常满意®ALD系统，以及多年来从Picosun获得的所有支持和咨询。通过我们的ALD系统，我们能够沉积致密、均匀的ALD NiO薄膜，具有低粗糙度和非常高的容量。这些薄膜的优良品质使我们能够开发用于sslib的高性能阳极Picosun的客户，来自俄罗斯圣彼得堡理工大学(SPbPU)的Maxim Maximov博士说。
”电池应用仍然是ALD作为一种方法的灵活性的一个例子，以及新行业如何每天发现ALD的可能性。配备Picoflow™专利功能的ALD工具成功地涂覆了纵横比超过1:25 50的深沟槽，进一步提倡在3D固态锂离子电池制造中使用我们的技术。我们很高兴我们的ALD解决方案可以在未来的能源存储解决方案中与清洁能源生产结合使用，并为更紧凑的医疗设备提供动力，以提高人们的生活质量Picosun集团的首席技术官Jani Kivioja博士说。
(*) Yury Koshtyal等，薄膜锂离子电池活性材料的原子层沉积，2019,9,301;doi: 10.3390 / coatings9050301。开放:https://www.mdpi.com/2079-6412/9/5/301．
来源:https://www.picosun.com/