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牛津仪器供应HLJ科技有限公司，采用等离子蚀刻和沉积解决方案，用于在6英寸晶圆上制造VCSELS

从牛津仪器等离子体技术2019年10月2日

牛津仪器等离子技术，激光制造市场的等离子蚀刻和沉积光电子解决方案的领先供应商宣布，位于台湾的HLJ科技有限公司，台湾已选择多种牛津仪器电感耦合等离子体（ICP）蚀刻和等离子体增强化学品群体平台上的蒸汽沉积（PECVD）系统，用于生产6英寸VCSEL晶片。

HLJ是台湾VCSEL生产的先驱，国际声誉突出。最近，HLJ为6英寸VCSEL晶片建造了一个批量生产线，以提高效率，并加快更大控制生产交汇时间，容量和质量。内部线路集成外延结构设计，生长，晶圆工艺和可靠性测试。HLJ致力于为全球用户提供一站式VCSEL设备购物服务。

我们选择Oxford Instruments来提供我们的ICP蚀刻和PECVD系统，因为他们提供尖端的等离子处理解决方案和无与伦比的工艺支持，这对我们来说是无价的。

Lai博士，GM，HLJ

这Cobra ICP.和PECVD.工艺解决方案旨在支持诸如VCSEL的前沿装置制造。

我们很高兴HLJ选择了用于生产高科技VCSEL设备的多个牛津仪器系统。我们继续加强我们作为复合半导体的解决方案提供商的地位，包括VCSEL市场。这种伙伴关系加强了我们致力于加强市场领先的生产能力

伊恩·巴克郡博士，牛津仪器公司的首席执行官

引用

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美国心理学协会
牛津仪器等离子体技术。(2019年10月02)。Oxford Instruments Supplies HLJ Technology Co. Ltd.，提供6英寸晶圆上VCSELS的等离子蚀刻和沉积解决方案。AZoM。于2021年8月3日从//www.washintong.com/news.aspx?newsID=52229检索。
MLA.
牛津仪器等离子体技术。“Oxford Instruments Supplies HLJ Technology Co. Ltd.， with Plasma Etch and Deposition Solutions for Fabrication of VCSELS on 6英寸晶圆”。氮杂。2021年8月03日。。
芝加哥
牛津仪器等离子体技术。“Oxford Instruments Supplies HLJ Technology Co. Ltd.， with Plasma Etch and Deposition Solutions for Fabrication of VCSELS on 6英寸晶圆”。AZoM。//www.washintong.com/news.aspx?newsID=52229。(2021年8月3日)。
哈佛大学
牛津仪器等离子体技术。2019。牛津仪器供应HLJ科技有限公司，采用等离子蚀刻和沉积解决方案，用于在6英寸晶圆上制造VCSELS。Azom，查看了8月2021日，//www.washintong.com/news.aspx?newsid=52229。