当Physik Instrumente（PI）是纳米定位器的主要供应商所需的是，需要表征和量化其PICMAWANK定位器的性能，Zygo的ZMI™位移测量干涉仪是正确的选择。
ZMI™产品通过模块化组件实现灵活配置和简单扩展，将分辨率降至现实世界的噪声限制性能的0.154 nm。这种水平的性能是通过外差干涉测量技术实现的，它使用载波频率，如FM无线电，进行高保真测量。
在最近发表的一篇技术论文和视频中，PI描述了他们如何使用ZYGO ZMI™系统来演示他们的PICMAWalk定位器的能力，该定位器通过闭环控制，以0.5 nm的步长可靠地重复移动。
使用外部Zygo干涉仪控制PI定位器
干涉仪的信号在这里被用来在一个封闭的伺服回路中操作一个定位器。除干涉仪外，所有需要的组件都由PI(物理仪器)提供，因此都来自单一的来源。可以使用它扩展或改进许多应用程序。http://bit.ly/2TgZ1vJ
在PICMAWalk设置中，PI在他们的N-331定位器上使用ZYGO ZMI设置，该设置由一个7702激光头，差分干涉仪(DPMI)，和一个4104C测量板组成。
释放纳米定位系统的全部潜力
PI的N-331定位器配有可选的内部参考线性编码器，分辨率为10 nm。通过弥合PI的E-712运动控制器和Zygo 4104C板之间的通信，PI能够控制和测量其舞台的运动，以清晰定义的0.5nm增量，这远远低于内部传感器的噪音。（参见下面的图表。）这表明使用ZMI系统提供闭环位置反馈有助于解锁PI的N-331定位器系统的全部电位。除PI使用ZMI系统以表征其纳米定位系统外，PI还向Zygo系统推荐给需要最高精度和性能水平的客户。
循环错误减少
PI在此设置中使用的ZMI 4104C板有能力将非线性循环误差降低到测量的噪声底板。循环误差项是所有位移干涉测量中固有的。ZYGO激光头和光学元件的设计和制造，以实现一个低循环误差，名义上1纳米。相比之下，其他制造商的干涉仪系统可以有高达10-20纳米的循环误差!
虽然对于小的纳米步的演示不是必要的，但循环误差补偿将是关键的，在更大的移动范围需要纳米级精度。下面的图片展示了ZYGO ZMI系统可以提供的性能和补偿类型。
结论
在纳米定位领域，精确重复移动、检测和测量微小运动(纳米量级)的能力至关重要，这需要先进的技术，如ZYGO纳米位置传感器。ZYGO提供一流的测量和反馈，为您的定位系统解锁最佳性能。
ZYGO非常感谢Physik Instrumente提供的数据、图像、视频链接和技术评论。
来源：https://www.zygo.com/