作为第一家将集成氙等离子体FIB与SEM商业化的SEM制造商，TESCAN自豪地宣布推出TESCAN AMBER X。TESCAN AMBER X是一种新的FIB-SEM解决方案，它将高通量等离子体辅助离子研磨与改进的超高分辨率（UHR）相结合无场SEM光学，一种非常适合在更大样本范围内对材料进行表征的组合。亚博网站下载
TESCAN琥珀色X靶的应用包括大横截面（宽度不超过1mm）的铣削和表征、多尺度、多模式FIB-SEM层析成像以及用于后续测试或表征的微纳米结构的无污染制备。
“虽然更常见的镓FIB-SEM系统，例如Tescan琥珀色或Solaris，但仍然是需要最高离子束铣削精度的应用的选择的解决方案，它们的多尺度表征和新材料样品制备的功能性可能受到限制的影响亚博网站下载铣削速度和液态金属离子污染伪影“材料科学公司TESCAN FIB-SEM解决方案组合的产品经理Jiri Dluhos说。他补充道：亚博老虎机网登录通过TESCAN AMBER X，我们为需要在最广泛的传统和新型材料范围内进行多尺度表征的材料实验室提出了独亚博网站下载特的解决方案“。
氙等离子体FIB不同于镓液态金属离子FIB技术，它能够将更多离子聚焦到束流中，从而获得比液态金属离子更高的离子束电流。更高的离子束电流（TESCAN AMBER X的高分辨率等离子体FIB配置高达1 uA）的好处在于其显著更高的研磨速率（一个数量级或更多），同时还提供15 nm光学分辨率的精细研磨和抛光能力。而且，由于氙的惰性，等离子FIB消除了离子注入造成样品污染的任何风险。
Tescan Amber X的免现场BrightBeam™电子柱将超高分辨率扩展到并发SEM，EDS或EBSD表征，以更广泛的材料，如金属，磁，非导电或光束敏感，可能会受到影响亚博网站下载通过非现场电子光学器件，同时仍实现超高分辨率（1.5nm @ 1kV）。
基于Tescan S8000平台的Tescan Amber X现已推出，首先在2020年的第一季度预期的第一届交货。
来源：https://www.tescan.com/en-us/