爱德华兹回应联合国新的温室气体指南

更严格的IPCC指导方针包括对CF的核算₄副产品的形成和排放。

联合国评估气候变化相关科学的机构政府间气候变化专门委员会(IPCC)刚刚发布了一份报告亚博老虎机网登录最新的改进的2006年指引。作为应对气候变化努力的一部分，修订后的法规加强了对半导体制造中使用的新温室气体的控制，并提高了对制造商报告和问责的要求。

政府间气候变化专门委员会已经认识到，在大气中测量到的温室气体数量与从已知排放源清单中计算出的数量之间存在差距。这种差距对全氟化合物等气体尤其令人关切，这些气体不仅具有极高的全球变暖潜能值(GWP)，而且在大气中存在的寿命也非常长，可达5万年。

Mike Czerniak教授，布里斯托尔大学客座工业教授，爱德华兹大学环境解决方案业务发展经理。

确定了在半导体制造过程中形成PFC的两种新机制，并在IPCC的最新改进中增加了排放因素:

1. CF₄当清洗化学气相沉积(CVD)室沉积时形成。
2. CF₄在燃料和工艺室废水混合的系统中，以燃烧为基础的减碳过程中氟与碳氢燃料反应生成的物质。

Czerniak教授说:“有史以来第一次，有了一个新的燃烧减氟排放因子——现在需要直接问责，以设备制造商的数据支持认证的形式，使反应最小化。”app亚博体育“通过适当的燃烧室设计，PFC的形成可以最小化。”

爱德华兹的内燃式燃烧室避免了室内排气和燃料的混合，而在其他设计中，这种混合可能导致pfc的生产，而pfc并不存在于原始排气流中。更低、更均匀的内燃燃烧室温度剖面确保了高破坏去除效率(DRE)，低NOx生成。自上世纪90年代开始研发以来，内燃式燃烧器一直是爱德华兹减量化系统的标准配置。

参观爱德华兹(展位#750)西方国家半导体了解更多有关政府间气候变化专门委员会关于减少温室气体的最新指导方针和最佳做法。SEMICON West将于2019年7月9日至11日在加利福尼亚州旧金山举行www.edwardsvacuum.com．

对爱德华兹

爱德华兹将于2019年庆祝其100岁生日。创始人FD Edwards开始在伦敦南部的一间小办公室里提供真空设备;app亚博体育100年后，爱德华兹在全球拥有6000多名员工，从事高科技真空和排气管理设备的设计、制造和支持。app亚博体育

爱德华兹的创新对于半导体、平板显示器、led和太阳能电池的制造过程是不可或缺的。它们也被用于越来越多样化的工业过程，包括电力、玻璃和其他涂层应用;钢铁和其他冶金;制药和化工;以及广泛的研发应用的科学仪器。爱德华兹在欧洲、亚洲和北美拥有最先进的生产设施。

关于政府间气候变化专门委员会(IPCC)

IPCC是支持《联合国气候变化框架公约》(UNFCCC)的科学组织。IPCC的报告由联合国和世界气象组织组织，为促成1997年《京都议定书》和2015年《巴黎协定》的国际气候谈判提供了科学依据。IPCC每5-7年审查一次气候变化的科学状况。亚博老虎机网登录欲了解更多信息，请访问https://www.ipcc.ch．