整体旋转靶材比粘结靶材具有更高的材料利用率和功率密度。Plansee现在已经申请了一种内部保护层的专利,这种保护层可以确保涂层材料不再与系统的冷却水直接接触。
Plansee的钼涂层材料被广泛应用于各种应用领域,例如作亚博网站下载为CIGS太阳能电池的后触点或平板屏幕的薄膜晶体管。整体目标提供了优势。这是因为单片靶材不需要背衬管,因为它们100%由钼制成。与保税靶材相比,材料利用率提高了30%。单片靶材的使用还允许功率密度高达30kw/m,这意味着更高的涂布率。
单片靶材与涂层系统的冷却水直接接触。冷却水含有添加剂或“抑制剂”,以稳定电导率和pH值。这些必须定期添加。Plansee的聚合物基内涂层防止涂层材料与冷却水接触。优点:CIGS太阳能电池和TFT-LCD屏幕的制造商需要更少的抑制剂并节省成本。此外,内涂层非常薄,不会明显损害旋转靶的热导率。
资料来源:http://www.plansee.com/en/index.html