高精度、压电定位系统在工业环境中的应用越来越多;半导体制造业就是一个典型的例子。作为驱动技术和定位系统的解决方案供应商,PI (Physik instrument)因此提供了E-727压电控制器的新变种。
现在,该数字控制器可以通过EtherCAT由ACS motion Control的所有工业运动控制器操作,因此可以集成到自动化环境中,作为两轴或三轴压电基纳米定位系统的“智能驱动器”,无论它们是否与电容、压阻式或应变式传感器。
带有两个陷波器滤波器的P-I控制器优化了压电操作,允许高控制带宽(20 kHz)。智能伺服算法最小化的沉淀时间,允许重复到亚纳米范围。数字控制器的进一步亮点包括用于机械和电子的四阶多项式线性化,集成数据记录器,用于快速和快速交换系统组件的ID芯片,以及附属的可编程漂移补偿。此外,还有动态数字线性化的选项。在动态周期应用的情况下,这个DDL函数将相移和轨迹误差降低到不可察觉的水平。这对于扫描应用程序来说是很重要的,因为它必须识别一个特定的位置并再次准确地到达它。
来源:http://www.pi-usa.us/en/