自动化技术中的纳米定位系统:带有EtherCAT®的数字压电控制器

高精度、压电定位系统在工业环境中的应用越来越多;半导体制造业就是一个典型的例子。作为驱动技术和定位系统的解决方案供应商,PI (Physik instrument)因此提供了E-727压电控制器的新变种。

数字多通道压电控制器,EtherCAT®,用于工业自动化中的压电纳米定位系统(来源:PI)

现在,该数字控制器可以通过EtherCAT由ACS motion Control的所有工业运动控制器操作,因此可以集成到自动化环境中,作为两轴或三轴压电基纳米定位系统的“智能驱动器”,无论它们是否与电容、压阻式或应变式传感器。

带有两个陷波器滤波器的P-I控制器优化了压电操作,允许高控制带宽(20 kHz)。智能伺服算法最小化的沉淀时间,允许重复到亚纳米范围。数字控制器的进一步亮点包括用于机械和电子的四阶多项式线性化,集成数据记录器,用于快速和快速交换系统组件的ID芯片,以及附属的可编程漂移补偿。此外,还有动态数字线性化的选项。在动态周期应用的情况下,这个DDL函数将相移和轨迹误差降低到不可察觉的水平。这对于扫描应用程序来说是很重要的,因为它必须识别一个特定的位置并再次准确地到达它。

来源:http://www.pi-usa.us/en/

引用

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  • 美国心理学协会

    PI(物理仪器)LP。(2019年4月29日)。自动化技术中的纳米定位系统:带有EtherCAT®的数字压电控制器。AZoM。于2021年9月12日从//www.washintong.com/news.aspx?newsID=51101检索。

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    PI(物理仪器)LP。自动化技术中的纳米定位系统:带有EtherCAT®的数字压电控制器。AZoM.2021年9月12日。< //www.washintong.com/news.aspx?newsID=51101 >。

  • 芝加哥

    PI(物理仪器)LP。自动化技术中的纳米定位系统:带有EtherCAT®的数字压电控制器。AZoM。//www.washintong.com/news.aspx?newsID=51101。(2021年9月12日生效)。

  • 哈佛大学

    PI(物理仪器)LP。2019.自动化技术中的纳米定位系统:带有EtherCAT®的数字压电控制器.viewed September 12, //www.washintong.com/news.aspx?newsID=51101。

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