PicoSun集团是全球行业的ALD(原子层沉积)薄膜涂料解决方案的领先供应商,已经开发出优质的ALD yTTRIA在恶劣环境中进行腐蚀保护。
YTTRIA,AKA YTTRIUM氧化物,Y2O3,非常坚硬,致密,机械强大的材料,具有优异的化学和耐受性和非常高的熔点。这些特性使其成为操作条件极端的应用中的保护涂层的理想选择。这些应用的一些示例是各种半导体生产设备和金属生产。app亚博体育Y2O3还发现用作新颖的微电子中的高k栅极电介质,例如碳基部件,薄膜晶体管和锗 - 金属 - 氧化物半导体。
氧化钇涂层通常用物理气相沉积,电子束蒸发或溅射方法生产,但ALD提供了这些技术的若干优点。ALD制造的氧化钇薄膜本质上是针刺无孔,极致密的,超薄,高度均匀,它们甚至覆盖最小的纳米级细节,空隙,弯曲和表面上的步骤。与传统方法相比,通过薄膜厚度的一小部分实现这些性能,可节省成本和材料。亚博网站下载随着ALD工艺基于气态反应物之间的自发表面化学反应,它对涂覆表面温和,如果需要,可以在中等温度下施加。钇氧化物涂料的成本高效,可在Picosun的行业验证PicoSun™P-1000和P-300B ALD设备(*)中实现。app亚博体育
“我们的高产量ALD设备,如PICOSUN™P-1000和P-300B反应堆,自推出以来取得了巨大的成功。有了这一设备,我们能app亚博体育够将ALD带到全新的应用领域,例如各种机械部件的表面保护和功能化,硬币和手表部件的防锈和装饰涂层,以及医疗设备的生物相容性涂层的生产。现在,我们的高质量的氧化铈工艺,在我们的大容量反应堆中进行大规模生产,使革命性的ALD解决方案在需要持久可靠的表面保护,以应对极端条件的行业中成为可能。
(*)如需更详细的工艺数据及报价,请联系(电子邮件保护)!!