世界领先的原子力显微镜制造商帕克系统公司近日被《CIOReview》杂志评为2018年最具潜力半导体技术解决方案提供商20强之一。CIOReview总编辑Jeevan George表示:“这一奖项是授予那些在提供半导体技术解决方案和影响市场方面处于前沿的公司。Park Systems因专注于客户需求和性能要求,创造了半导体计量解决方案而受到表彰。”
Park Systems的内联半导体制造工艺展示了创新和卓越,这是通过与主要半导体制造商以及imec(总部位于比利时的全球纳米电子研究中心)合作开发的。比利时imec在线检测和计量组高级研究员Tae-Gon Kim表示:“Park系统公司生产的原子力显微镜由于具有纳米结构测量的无损设计专利和易于适应混合计量,正迅速成为下一代在线测量解决方案。”
世界各地的半导体公司都与帕克系统公司合作,以满足他们的纳米显微镜需求,包括前五大制造商,由于具有革命性的AFM系统,如帕克NX-Wafer,专为裸晶圆制造,将自动缺陷评审过程完全自动化,并将生产吞吐量提高到惊人的1000%。
园区继续在半导体制造的工业自动化原子力显微镜(AFM)方面取得快速进展,开发解决方案,以补充现有的工艺开发、生产、和缺陷分析,以及测量高分辨率3D AFM计量的新应用,极大地提高生产成品率和设备性能。