V-738 XY翻译阶段是一个可控制的,高精度的两个轴定位系统,具有清晰的光圈。
为了满足最高准确性的需求,V-738 XY翻译阶段以三件布置设计,以改善几何性能。与XY阶段组件相比,将两个单轴翻译阶段固定在一起,集成的平面设计提供了更好的正交性(<100μRAD)和直度/平坦度(2µm)。
由于支持的改善,与单轴线线性阶段的XY组合相比,平面XY阶段变得更硬,挠性较小,尤其是当单个轴移至其极端位置时。集成的XY定位表通常用于工业自动化应用和精确机械中,包括半导体和平板显示测试和制造。
线性电动机 - 直接驱动 - 高速和加速度
3相无刷线性电动机驱动两个轴,将驱动力(200N峰值)传输到运动平台无摩擦的情况下。由于缺乏由永久磁体引起的齿轮效应,无铁的电动机可提供更好的速度控制。最大速度为0.5m/秒,达到1G的加速度。XY-Travel范围为每个轴100mm。V-7系列的其他成员包括V-731 XY阶段有200x200毫米旅行和V-741 XY阶段带300x300mm的行程。
线性编码器 - 纳米分辨率
集成的光学线性编码器可将位置分辨率降低到1纳米 - 机械位置可重复性为0.1μm,并实现20纳米的最小增量运动。
计算机控制
从模块化到台式设备,提供了各种精确的运动控制器。为了获得最高的性能,PI建议ACS产品线Ethercat兼容精确运动控制器的组合。
申请
激光加工,高准确的医疗制造,光学扫描,生物纳米技术,计量学,自动化光学检查,显微镜。
来源:Physik仪器