通过在espionage soft探头操作程序中引入用户可访问的Bohm标准功能,进一步扩展了Hiden ESPion langmuir型静电等离子体探头的性能,以实现在压力至大气的低温碰撞等离子体中探头操作的数据补偿。
该系统可在射频和直流等离子体中工作,自动报告电子密度/能量分布、电子温度、离子密度、等离子体电势和浮动电势的关键特性,为基于等离子体的过程分析和控制提供快速准确的反馈。系统设计用于监测连续和脉冲等离子体过程,快速车载软件控制门控电路使ESPion能够通过高达3MHz的脉冲频率提供高分辨率分段时间分析,采集触发分辨率仅为62.5纳秒。探头可在静态和动态模式下运行,具有完全可编程的超高压兼容线性运动驱动器,可提供900mm的线性行程范围。我们的定制设计团队将乐于审查任何专业操作要求。
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