Thermo Fisher Scientific是服务科学的领导者,宣布新产品,可提高半导体制造中的质量控制亚博老虎机网登录和产量。这些新产品将在2018年3月14日至16日,上海上海(N5#5619)中展示。
“Thermo Fisher在用于控制制造工艺的先进分析技术中具有深厚的根源,并诊断半导体和展示制造中的过程和产品故障的根本原因,”Adviorment and Generto Fisher副总裁兼总经理Rob Krueger说。“本周,我们正在推出新产品,有助于推动亚洲,特别是在中国的亚洲的快速创新和持续扩张的速度。”
Verios G4极端高分辨率SEM
Thermo Scientific Verios G4极端高分辨率(XHR)扫描电子显微镜(SEM)提供了确定根本原因缺陷,产量损失和工艺和产品故障所需的能力和灵活性。
“Verias G4是一种脱离我们广泛成功的Helios系列的SEM-onlubeam(聚焦离子束/ SEM)仪器,”Krueger说。“它在各种条件下提供行业领先性能,特别是在高级过程中使用的光束敏感材料所需的低电压。”亚博网站下载
Hyperion II快速高效的纳泊人
Nanoprobers进行单个晶体管的直接电测量。新的Thermo Sciention Hyperion II,该基于原子力显微镜(AFM)的唯一可商购,消除了SEM系列纳米体的真空要求和电子束/样品相互作用。Hyperion II的自动化操作和成像模式设计用于速度和易用性。此外,其精确定位电气故障的能力可以提高随后的双波或TEM分析的速度和效率。
ICAP TQS ICP-MS用于快速可靠的化学监测
Thermo Scientific ICAP TQS电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)是建立良好的ICAP TQ ICP-MS的专用半导体版本。它提供了用于支持自动化在线监测和统计过程控制的超高纯度(UHP)化学品中的低水平污染物的快速,可靠和可重复的测量,以进行高级半导体制造过程。ICAP TQS ICP-MS在单个高性能解决方案中提供了新的超低检测和简单性。现在可以通过这种新系统从实验室移动化学分析,并允许化学浴的串联控制,从而优化响应时间。