PicoSun Oy是全球产业的原子层沉积（ALD）薄膜涂料技术的领先供应商，STMicroelectronics的合作伙伴S.R.L.为先进的电力电子开发下一代300 mm生产解决方案。
电力电子元件是我们社会许多核心元素的核心，其中节能，保留了自然资源和二氧化碳排放减排，以提供可持续的未来。能源生产具有可再生能源，如风和太阳能，与电动汽车和火车的清洁交通，以及带有能源 - 智能电源管理和工厂自动化的工业制造是关键市场，需要先进的电力元件的增加。
大多数功率半导体行业使用200毫米晶圆作为基板。通过具有相对较小的材料损失的吞吐量，转移到300毫米，使得能够更高的吞吐量，以及适应诸如ALD的新颖制造过程，允许较小的芯片尺寸随着集成水平的增加。
作为资助项目R3-Powerup（*）的一部分，PicoSun的Picoplatform™300 ALD群集工具将被优化并验证为300 mm的电力电子元件生产。SEMI S2认证PICOPLATFORM™300集群工具由两个PICOSUN™P-300S ALD反应器组成，一种专用于高k介电氧化物，一个用于氮化物，连接在一起，并在恒定真空下与中央真空机器人基板处理单元一起操作。ALD电抗器配备PICOSun专有的Picoflow™特征，使得在高宽高比中能够在高达1：2500甚至超越的高纵横比中进行共形ALD沉积。使用具有FOUP端口的EFEM实现基板加载。全自动群集工具可以集成到生产线中，并通过SEC / GEM接口连接到出厂主机。
“我们的Picoplatform™300集群工具已经在传统IC应用中证明了它们的实力，因此扩展到功率半导体只是自然。我们非常乐意与STMicroelectronics等公司合作，以定制并验证我们300毫米ALD生产解决方案，以便在这一快速增长的市场上进行验证。这也是欧洲半导体产业的未来贡献的主要机会，并利用ALD为全球生态和社会挑战提供技术解决方案，如气候变化和DWWINDLING自然资源，“PICOSUN董事总经理Juhana Kostamo总结了。
PICOSUN提供最先进的ALD薄膜涂层技术，使工业飞跃进入未来，具有交钥匙生产解决方案和该领域的无与伦比的专业知识。如今，PicoSun™ALD设备在全球众app亚博体育多主要行业的日常制造中使用。Picosun是位于芬兰，欧洲，北美，新加坡，台湾，中国和日本的子公司以及全球销售和支持网络。
（*）185 M€项目R3-Powerup由Ecsel Ju资助，它从2017年11月到2021年4月。该项目由STMicroelectronics协调。