Hiden Analytical介绍了一个基于四极质谱仪的诊断仪器家族,具有特定应用于分子束外延过程和后处理薄膜评估,其新的MBE工艺特定技术信息表中强调了主要功能。
在反应性分子束沉积环境中,使用低反应性建筑材料和广泛的表面筛选,专门为在反应性分子束沉积环境中运行而构建了进程中。亚博网站下载仪器包括Halo MBE残留气体分析仪,XBS分子束沉积速率监测率,通过70o锥角和带有积分的优质离子枪的模块化模拟SIMS表面分析工具,用于进行过程中的表面层评估。
提供了AutoSIMS系统,用于测量后处理的表面层组成和深度曲线构图通过深度通常达到微米的变化。该系统具有可互换的盒式磁带式多样本持有器,并具有自动化的X-y定位阶段,可实现全自动的无人值守操作。细焦离子枪既是氧气,又是氩气兼容。
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