PicosunOy公司(芬兰)、Silex微系统AB公司(瑞典)和Pegasus化学有限公司(UK)联手开发并提供MEMS行业新式ACD存储法和流程协作的目的是实现新兴高级MEMS结构,这些结构不可能用任何其他薄膜沉积法制造
MEMS今日是手机、汽车和各种传感器系统等多项日常应用中关键组件除这些本已广阔的市场外,迅速扩展的互联网数以十亿计独立通信电子设备是一股巨大的驱动力,以加速MEMS行业近期指数增长
Picosun-Silex-Pegasus协作中,Silex的MEMS铸造厂安装PICOSTMALD集群平台平台由全自动化工厂综合磁带对盒式真空机器人组成,用于基调处理和PICOSUNTMP-300FALD堆分批覆盖达25pcs8安装式堆可每月将各种金属氧化物、金属硝化物和纯金属沉入数万片(*)。
pegasus开发并制造ALD进程所需的前体化学品,为个体应用提供技术支持和交付选项集群平台稍后可用另外两个ALD堆升级三位伙伴的工程师和科学家协作解决MEMS处理中现存问题,并开发全新开口以了解新MEM设备
自2010年起,我们一直与Picosun合作,现在与这个项目合作,我们可以把我们的合作提升到全新层次。PICOSTUNAMALD集群平台使我们能够开发出新颖的经生产证明的ALD解决方案,供客户使用高级MEMS应用
博士Niklasssvedin,Silex微系统工程副总裁
微信处理使用ALD快速增长微信系统市场中已有强健存在,但新应用周刊上出现,我们希望保持领先位置,在这一开发中保持领先地位。SALADIN项目中,我们有合作伙伴,我们可以测试并开发出我们自己新思想如何在MEMS进程流中实现ALD”。Juhana KostamoPicosun总经理
MEMS产业快速增长市场,我们非常有趣地参与向它介绍破解ALD集群平台进程并专注于高级MEMS应用
博士Paul Williams,Pegasus化学技术主管
传输量计算为 10NM Al2O3, 90%系统恢复时间