IONICON发射AMC-Monitor半导体行业的t - 1000

IONICON德国,奥地利实时跟踪的主要制造商VOC分析为基础,介绍了一种新的模块化和灵活的平台空气分子污染(AMC)监控等典型的半导体应用程序:

• FOUP分析AMC满关注VOC和可压缩的包括集成Pfeiffer真空APA 302圆荚体分析仪
• 洁净室监测制造工厂:AMC的自动检测与集成的多路复用系统多个采样点,直接在工厂在变量的位置,甚至在tool-level
• 外监测与进入的空气:自动化栅栏线监测及报警的水平,和下游过滤器测试

图片致谢:IONICON德国

AMC-Monitor t - 1000

现在综合监控解决方案基于IONICON著名的PTR-TOFMS系列与新的“绑定AME“分析软件。自动测量和评估(AME)套件提供预设食谱特定监测的挑战。分析仪将自动扫描,识别目标物质在数据和实时可视化选择AMC的浓度。一个智能模式匹配算法提供了准确确定污染物的定量信息,即使在复杂的测量环境。

AMC-Monitor t - 1000使自动化实时量化几百物质。使用创新PTR-TOF技术,同时可检测化合物分析,灵敏度高,检测范围< 1 pptv非常低。

IONICON专家丰富的经验在分析化学提供预设菜谱选择目标物种的分析根据特定的铸造或工具制造商的需求,覆盖相关的化学物质。

一个可伸缩的内置的多路复用系统成本最小化分析每个采样点。通过Modbus TCP允许远程操作和数据传输集成到工业系统。可以作为独立的工具或完全集成的菲佛真空APA 302 FOUP分析仪。今天的AMC-Monitor是一个成本有效的一体化解决方案和未来的VOC监视需求。