图像感想分析
隐藏分析发布新手册全程四极质谱仪专为真空过程监控设计系统覆盖全压力范围从UHV(后方物种、泄漏检测)到molbar系统(过程监控、控制和保护)。
高压系统由HPR-30系统处理连同综合干真空泵和过压保护系统配置直接安装到处理室高稳定性移动监视柱系统可轻易垂直和横向调整并易移到替代过程系统采样点300amu质量范围适用于过程环境大都,并有替代质量范围选项供专用应用使用
下压5x10-3毫巴双模HMT剩余气体分析器使用法拉第高压操作器,但以电子倍增检测全敏度对UHV低压操作2x10-13毫巴HALO和HALRGA序列优化操作低压系统,大质量范围选项可达1000amu并最小可检测部分压力可下至5X10-15毫巴所有系统可归并进程(温度等)和质谱计数据并发