TMC., an industry leader in high-performance vibration isolation technology, introduces UltraDamp™, a very-high-damping pneumatic vibration isolation system that is ideal for vibration-sensitive applications with high-force, high- velocity X-Y motorized stages that require fast settling time of the payload.
通过Ultradamp,TMC扩展了其高性能Micro-G®气动隔振器系列,为原始设备制造商(OEM)内应用提供了一系列重量容量,阻尼水平和高度控制选项。app亚博体育
现在,工具设计器可以通过选择所需的容量,阻尼级别和高度控制来指定一个与他的需求完全匹配的隔离器。隔离器以模块化,可互换和可升级的设计提供,可以轻松地交换隔离器,以适应工具要求的变化,而无需昂贵的工具重新设计。
史蒂夫·瑞恩,TMC的分裂副总裁
隔离器选择包括三个阻尼水平:Gimbal Piston™,MAXDAMP®和Ultradamp - 具有最大振动衰减或最大阻尼。隔离器支持90到8,200公斤(200〜18,000磅)的有效载荷,具有三个平整性能选择,提供标准高度控制阀,精密高度控制和TMC的百分比(精密电子定位系统)。
在TMC的Micro-G隔离器中,其Gimbal Piston™空气隔离器具有出色的振动隔离,具有损坏有效载荷障碍。但是,一些应用需要更多阻尼。对于这些应用,TMC的MAXDAMP®隔离器将Gimbal活塞隔离器与内部,防篡改粘性阻尼组合。
TMC的新型Ultradamp隔离器提供了更具侵蚀的阻尼水平,确保空气隔离器的谐振频率不超过3-5 dB。Ultradamp非常适用于半导体,液晶显示器(LCD)和光伏电池(PVC)检查和光刻工具以及具有电动级的其他仪器,需要振动隔离和有效载荷诱导的运动的侵略性沉降。