用于UHV / XHV真空操作的残留气体分析仪

从Hiden分析2017年5月18日

用于真空处理分析的Hiden RGA系列的四极杆质谱仪进一步扩展到包括从一般真空监测到专业环境和研发应用的应用系统。

隐藏处HAL / 3F系列具有三级质量过滤器，增强了绝对灵敏度和质量分辨率，具有丰富的灵敏度，通过测量空气中的大气氙来延伸至每十亿分（PPB）。具有快速数字检测的可选版本 -HAL PIC系列- 提供最快的响应，连续7年的动态范围和仅为10E-15毫巴的最小可检测的部分压力。

最新的添加是隐藏处DLS-20和HAL X-101系统。当DLS-20具有最大的质量过滤器，极点直径为20mm，专门设计用于要求最大质量分辨率的特殊应用，如分离氘和氦，质量为4 amu，具有最佳的丰度灵敏度。当HAL X-101是专为在硬辐射环境下操作而设计的产品，该系统采用创新技术，使所有有源电子元件安装在距离真空计100米的地方即可操作。

有关此或任何其他Hiden产品的全部详细信息，请联系Hiden分析(电子邮件保护)或访问主要网站www.hidenanalytical.com.．

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引用

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美国心理学协会
针孔分析。（2020年8月27日）。用于UHV / XHV真空操作的残留气体分析仪。AZoM。从Https://www.washintong.com/news.aspx?newsid = 47711上检索到2021年8月24日。
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针孔分析。UHV/XHV真空操作残余气体分析仪氮杂．2021年8月24日。。
芝加哥
针孔分析。UHV/XHV真空操作残余气体分析仪AZoM。//www.washintong.com/news.aspx?newsID=47711。(2021年8月24日生效)。
哈佛
针孔分析。2020。用于UHV / XHV真空操作的残留气体分析仪．AZoM, viewed August 2021, //www.washintong.com/news.aspx?newsID=47711。