以太网/ IP和DeviceNet选项将质量流量仪器集成到涂层和溅射过程控制中
Alicat Scientific在其用于真空涂层应用的大规模流量控制器线上扩展了通信协议产品，添加以太网/ IP和DeviceNet。Alicat的MCE系列和MCV系列质量流量控制器确保真空室中最佳涂层环境，在真空沉积中保持产品完整性。
新工业自动化协议使实时数据包括质量流量，体积流量，绝对压力和温度，具有全温和压力补偿 - 通过PLC集中读取，并用于管理MCE和MCV系列仪器。用户可以使用DeviceNet或Ethernet / IP启用PLC或计算机将其他命令发布到Alicat仪器的其他命令。
Alicat MCE和MCV精确地控制气流速率低至0-0.5 SCCM满量程或高达0-20 SLPM满量程，并且能够进行20至50毫秒的控制响应时间。快速响应时间可以大大改善真空涂层最终产品，并有助于消除目标中毒。集成的气动截止阀通常是关闭的，提供1×10 ^ 9atm / sec氦气的正关断。
除了新的以太网/ IP和DeviceNet协议外，Alicat还提供Modbus-RTU和PROFIBUS通信选项。MCE系列和MCV系列可用于取代遗留和停止的MKS仪器。为了适应与普通行业质量流量控制器相同的空间，两系都易于集成到现有系统中。所有alicat仪器都是通过NIST可追踪的校准，综合技术支持和终身保修来支持。
了解有关阿利坎特的更多信息协议选项为了真空涂层应用， 访问www.alicat.com/vac-eip.，或通过电子邮件联系Alicat Europe：[电子邮件受保护]或电话：01223 472804。