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大批量制造奖颁给了…牛津仪器等离子技术!

从牛津仪器等离子体技术2017年3月15日

2017年3月7日，在布鲁塞尔举行的年度CS行业大奖上，牛津仪器等离子技术获得了大批量制造奖。

该奖项强调了该公司通过自己的PlasmaPro100 Polaris系统开发的SiC等离子蚀刻工艺。

我们很高兴能获得这个奖项，因为它表彰了等离子技术公司的一些伟大创新。SiC经刻蚀工艺是生产下一代射频器件的重要一步，它具有光滑的刻蚀侧壁和低的拥有成本，具有优异的器件性能。

弗雷泽·安德森，牛津仪器等离子技术公司战略营销和业务发展总监。

今年是该奖项颁发的第五个年头，该奖项表彰了复合半导体行业从研究到成品设备的整个价值链上的成功和发展，重点关注推动行业前进的人、流程和产品。这些奖项在超过100名业界人士出席的CS国际会议上颁发。

了解更多关于PlasmaPro100北极星系统的信息，请访问www.oxinst.com/sicvia

了解更多关于这些奖项的信息，请访问www.csawards.net

引用

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美国心理学协会
牛津仪器等离子体技术。(2017年3月15日)。大批量制造奖颁给了…牛津仪器等离子技术!。AZoM。于2021年11月15日从//www.washintong.com/news.aspx?newsID=47415检索。
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牛津仪器等离子体技术。“大批量制造奖颁给了……牛津仪器等离子技术!”AZoM．2021年11月15日。< //www.washintong.com/news.aspx?newsID=47415 >。
芝加哥
牛津仪器等离子体技术。“大批量制造奖颁给了……牛津仪器等离子技术!”AZoM。//www.washintong.com/news.aspx?newsID=47415。(2021年11月15日生效)。
哈佛大学
牛津仪器等离子体技术。2017。大批量制造奖颁给了…牛津仪器等离子技术!．viewed september 21, //www.washintong.com/news.aspx?newsID=47415。