新的易于使用的纳米探针和光学故障隔离工具Thermo Fisher科学提供故障定位和晶体管表征至最先进的7NM技术节点。
半导体制造商可以为识别和分析其产品中故障所需的工具转向新的电气故障分析（FA）解决方案。新的Nprober IIIFEI开发的故障定位和晶体管表征工具提供了流程开发和失败分析，直到7NM技术节点。
新的子午线7FEI也开发的光学故障隔离工具旨在提供在亚10nm节点处的无损定位所需的分辨率。
这些解决方案将于本周在2016年11月6日至10日在德克萨斯州沃思堡的ISTFA介绍，FEI Booth＃106。
在我们的路线图中，自动化是重中之重。NPROBER III系统通过合并旨在改善时间表并降低运行工具所需的技能的智能引导操作，开始朝着自动化纳米螺旋桨技术的迈向自动化。
电力故障分析（EFA）解决方案副总裁Cecelia Campochiarro，Thermo Fisher Scientific
这些新解决方案是完整的EFA工作流程的一部分，其中包括：故障隔离，电探测，延迟，样品制备和成像，以及在需要时，在透射电子显微镜（TEM）中进行原子级成像。
NPROBER III允许FA工程师找到并表征准备提取薄截面样品进行TEM中的物理失败分析的单个设备。在某些关键应用中，纳米托架可能会增加TEM的成功率。
NPROBER III设计为有效且易于使用的工具，使其前身的分辨率和探测稳定性增加了一倍。
新的子午线7提供了可见的激光电压成像，探测和动态激光刺激在亚10nm设备上。通过避免对超薄底物的要求，它可以保留正在测试的设备的完整性和功能，以提供可靠且实用的生产解决方案。
它在上一代系统中提供了25％的光学分辨率增强功能，并且具有较小的斑点大小以实现更好的故障定位。此外，新的Meridian 7在导航和计算机辅助设计（CAD）覆盖层，更少的串扰和较高的波形信号到前任方面提供了更多确定性。
请访问ISTFA 2016（FEI Booth 106）以了解有关这些产品和EFA工作流程的更多信息，或访问：http://bit.ly/2flqzvh。
关于Thermo Fisher科学
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