Alicat MCE-Series和MCV-Series直接替代普通行业质量流量控制器
Alicat科学的质量流量控制器确保最优涂料在真空室环境,保持产品在涂料和溅射过程的完整性。的MCE-Series和MCV-Series可以用来取代传统和停止MKS仪器。使适合同一空间多行业质量流量控制器,两系列很容易集成到现有的系统中。在使用,他们提供快速,准确的流量控制过程均匀性和质量。
Alicat多国评价和MCV精确控制气体流速低至0 - 0.5 sccm全面或高达0-20 slpm全面控制50到100毫秒的响应时间。快速的响应时间可以大大提高真空镀膜终端产品和帮助消除目标中毒。集成气动切断阀是常闭,提供积极的关闭1 x - 9 atm-sccm /秒氦马克斯。
多国评价可以作为替代传统类型的MKS Mass-Flo 1179®,虽然MCV取代中断类型MKS 2179 Mass-Flo®。Alicat质量流量控制器操作普遍夫人VDC供应,和Alicat将匹配任何既存销了9针或15针do连接器,便于更换。单位可以安装在任何方向,甚至是颠倒的,没有调整,进一步简化安装。
预定程序的与98年校准气体,多国评价和MCV测量质量流量、体积流量,绝对压力和温度,温度和压力补偿。单位可以直接通过仪器键盘编程或远程通过rs - 232 (rs - 485也可用)。
多国评价和公司使用专利层流压差(DP)技术中发现许多Alicat科学流工具,提供NIST可追踪的认证,CE标志。
了解更多关于Alicat的质量流量计,访问www.alicat.com,或称+ 1 520 290 - 6060。