白皮书介绍了用于高真空的纳米定位器的设计和制备

真空和超高压在研究和工业中的应用越来越重要，因为测试和制造特别需要真空或低温环境。

几十年来,PI.已经提供了从10-3毫巴到10-9毫巴的真空级别的阶段和系统，提供可靠的运动控制定位和对准。PI -的最新目录高精度运动和定位解决方案的高真空和特高压-证明了PI的专家设计能力，因为大多数标准产品创建的真空兼容的思想，从线性和旋转阶段到六轴六脚。

“在全世界的研究和开发领域，从小型外延过程到大型波束设施，都使用真空环境。，负责PI真空技术研发的技术工程师Jürgen Gallus博士说。Dr. Gallus的白皮书，“在真空环境中的运动和定位”，深入研究了在设计真空系统时必须考虑的具体因素，包括操作速度、阶段寿命、润滑剂和涂层的使用、材料选择、高真空和超高真空的烘烤温度等等。

下载高精度运动和定位解决方案的高真空和特高压目录

http://www.pi-usa.us/pdf/pi_vacuum_positioning_systems.pdf.

下载白皮书《真空环境中的运动与定位》

http://www.pi-usa.us/pdf/Vacuum_Precision_Positioners_Motion_Control_in_Vacuum_UHV.pdf

阅读文章“精密定位平台设计的进展-超高真空应用中优化出气和运动性能”

http://www.pi-usa.us/blog/advances-in-precision-positioning-stage-design-optimized-outgassing-and-motion-performance-in-ultra-high-vacuum-applications/

观看视频>

https://www.youtube.com/embed/n1l5BITFGjU?rel=0

了解更多关于真空阶段和执行器

http://www.pi-usa.us/products/precision_positioning_pi-micos/Vacuum_Precision_Positioning_Stages_Mc.php

标准和自定义

除了各种标准的压电和机械级，PI可以快速修改现有产品设计或提供完全定制的OEM部分，以适应应用程序的确切要求。