NIL系统将增强INSPIRE程序的过程开发和演示能力。
电动汽车集团EVG是MEMS、纳米技术和半导体市场的晶圆键合和光刻设备的领先供应商，Leti是CEA技术的一个研究所，今天宣布，Lapp亚博体育eti已经从EV集团订购了一套HERCULES NIL轨道系统。
HERCULES NIL系统将安装在Leti位于格勒诺布尔的无尘室设施中，在那里它将增强EVG-Leti INSPIRE合作项目参与者的工艺开发和演示能力。
2015年6月，Leti和EVG发起了INSPIRE计划，旨在展示无燃料电池在光子学、等离子体学、照明、光伏、晶片级光学和生物技术等广泛应用领域的拥有成本效益，而不仅仅是开发无燃料电池工艺解决方案的工业伙伴关系。
通过INSPIRE, Leti和EVG正在支持从可行性研究阶段到EVG平台的第一个制造步骤的新应用开发，并将集成工艺解决方案转移给他们的工业合作伙伴。
这一努力的结果是大大降低了在制造新产品时采用零排放技术的障碍。
纳米压印光刻作为一种低成本、高分辨率的制版解决方案，在半导体行业以外的新兴和不断增长的应用中显示出了巨大的潜力。Leti和EVG联合推出的INSPIRE项目旨在加速这种有前景的技术在大批量生产中的应用。安装该工具支持我们扩大和加速INSPIRE范围的目标，并展示这种多功能、强大的纳米图形技术的好处。
劳伦特·佩恩，勒蒂的图案设计项目经理
HERCULES NIL是一个完全集成的轨道系统，将清洁、抗涂层和烘烤预处理步骤与EVG专有的SmartNIL™大面积NIL流程结合在一个平台上。
它可以压印大小从几十纳米到几微米的结构，同时提供无与伦比的吞吐量(200毫米晶圆的40 wph)。该系统建立在一个高度可配置和模块化的平台上，可容纳各种压印材料和结构尺寸，为满足客户的制造需求提供了高度的灵活性。亚博网站下载
完全集成的方法也将粒子污染的风险降到最低。
我们非常高兴INSPIRE项目自Leti和EVG一年前启动以来取得的成功。到目前为止，由于两家公司提供的专业知识和能力的结合，该计划正在为几个客户支持NIL解决方案的开发。随着EVG的HERCULES NIL轨道系统的加入，我们预计INSPIRE的成功将继续增长，该系统已经安装在多个大批量生产现场。
Markus Wimplinger, EV Group公司技术开发和知识产权总监
关于Leti(法国）
作为CEA技术研究部的三个先进研究机构之一，乐提作为基础研究和微纳米技术生产之间的桥梁，改善了世界各地的人们的生活。它致力于创造创新，并将其转化为产业。乐帝凭借其2800项专利，与大型工业企业、中小企业和初创企业合作，量身定制先进的解决方案，加强其竞争地位。它已经创办了59家初创公司。其8500平方米的新一代洁净室空间具有200mm和300mm的微纳米晶片加工解决方案，应用范围从空间到智能设备。Leti总部位于法国格勒诺布尔，拥有1900多名员工，并在加州硅谷和东京设有办事处。跟随我们www.leti.fr和@CEA_Leti。
关于EV Group (EVG)
EV集团(EVG)是一家领先的半导体、微电子机械系统(MEMS)、复合半导体、动app亚博体育力器件和纳米器件制造设备和工艺解决方案供应商。主要产品包括晶圆键合、薄片加工、光刻/纳米压印光刻(NIL)和计量设备，以及光刻胶涂布器、清洁剂和检测系统。app亚博体育EV Group成立于1980年，为遍布全球的客户和合作伙伴提供服务和支持。有关EVG的更多信息，请访问www.EVGroup.com．