薄膜、等离子机和表面工程隐藏产品目录

新建隐藏式目录描述各种隐藏质谱产品用于真空涂层刻刻过程和表面评价研究

UHV温度程序解吸系统等关键新产品欧市C.两种新二级质量分光系统-AutosIMS和CompactSIMS-向原子层提供表层诊断并选择完全自动化或人工操作

RGA序列产品处理残留气分析问题,压力从1mbr持续到全UHV/XHV直接等离子监测器EQP、PSM和IMP序列提供实时等离子诊断并嵌入端点测定,同时监测正负离子和中性种HPR-60系统多级减压扩展等离子诊断能力达5巴高压

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